三次元微細加工用露光システム : DigInfo

FPD用露光機をメインに製造し、精密機器、光学機器、計測器、理化学機器の設計、制作、販売を行う大日本科研は、第１８回ファインテック•ジャパンにおいて、機械要素部品、センサー、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基盤上に集積化したデバイス、通称「MEMS」の加工等に使われる、「三次元微細加工用露光システム」を展示しました。

移動マスク露光技術と搭載したこの機器は、リソグラフィーにおいて露光中のフォトマスクをレジスト面に対し平行に往復運動や回転運動等の周期移動をさせることにより、レジスト表面の露光量分布を制御し、レジストの三次元構造体を制作することが可能です